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三氟化氮

三氟化氮

名稱/化學式:三氟化氮/NF3
包裝規格:44L、17L
純度(%)及雜質(ppm):99.99%
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名稱/化學式:三氟化氮/NF3
包裝規格:44L、17L
純度(%)及雜質(ppm):99.99%


       三氟化氮在常溫下是一種無色、無臭、性質穩定的氣體,是一種強氧化劑。三氟化氮在微電子工業中作為一種優良的等離子蝕刻氣體,在離子蝕刻時裂解為活性氟離子,這些氟離子對硅和鎢化合物,高純三氟化氮具有優異的蝕刻速率和選擇性(對氧化硅和硅),它在蝕刻時,在蝕刻物表面不留任何殘留物,是非常良好的清洗劑,同時在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的運用。


我公司的氣體產品包括:工業氣體和特種氣體。特氣體主要由進口和廠家代理直銷為主,產銷的特氣種類齊全,具有很強的競爭力。至今為止,本公司經營的氣體產品有工業氣體、混合氣體、 超高純氣體、滅菌消毒氣體、照明氣體、標準氣體等八個系列共50多個品種。

  • 99.9%(3N)氦氣

    99.9%(3N)氦氣

    氦氣

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  • 99.9995%(5.5N)進口高純氦氣

    99.9995%(5.5N)進口高純氦氣

    氦氣

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  • 99.9999%(6N)進口超純氦氣

    99.9999%(6N)進口超純氦氣

    氦氣

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  • 99.999%(5N)高純氦氣

    99.999%(5N)高純氦氣

    氦氣

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  • 99.999%(5N)高純進口氖氣

    99.999%(5N)高純進口氖氣

    稀有氣體

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  • 99.999%(5N)高純氙氣

    99.999%(5N)高純氙氣

    氙氣

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